Моделот ZDF-62B5 сложен вакуум мерач е составен од 2 комплети ниски вакуумски мерни единици и 1 сет високо вакуумски мерни единици. Една единица мерач на отпор (RG 2) се користи за да се постигне мерење (1.0 × 10E5Pa~1,0 × 10Е-7Pa) независно, единицата на мерачот на отпор (RG1) во комбинација со јонизирачкиот мерач, како сложена единица, е да се постигне континуирана контрола и мерење (1 × 10E5~1 × 10Е-7Pa).